製品・技術から選ぶ

飯山特殊硝子の研磨技術

熟練技術者による超精密平面研磨

液晶用フォトマスク基板、半導体用フォトマスク基板など限りなく精密な平面を求められる超精密平面研磨に対応しています。硝材の調達から成形、研磨、洗浄、検査まで社内で一貫して行える設備を整え、熟練技術者が研磨を行っています。

品 質

平面度30nm(100万分の30mm)以下の精度

【ZYGO製レーザ干渉計式形状測定器】
有効径4"から12"までの平面・球面の形状測定に対応

熟練技術者によって研磨された製品は、クリーン環境での洗浄工程を経て、ZYGO社製干渉計システム使用して、非接触で平面の形状測定を行います。これはレーザ位相を使用したシステムで、表面のうねりと基準光学系との位相ずれを検出し、コンピュータにより解析します。有効径4"から12"までの平面・球面の形状測定に対応しています。規格30nm以下の要求精度に対して、この精密干渉計で実測保証を行っています。

小型部品から薄物研磨まで

当社では、最小Φ1から最大Φ200まで、幅広い研磨ニーズにお応えしています。当社工場内の小型研磨機によって最小Φ1×0.1t〜最大Φ200×0.5tまでの研磨が可能です。また、当社協力工場ではΦ600の大型加工も可能ですのでご相談ください。