BLOG半導体・石英部品のガラス加工・研磨
I N D U S T R Y
01半導体
半導体デバイス製造向け精密ガラス製品
デジタル社会に向け、今後半導体の需要は長期的に伸びていくことが見込まれます。5Gや自動運転などの需要が高まり、さらなる高速・大容量化が求められることで、半導体プロセスの微細化やICの多層化も進んでいるのが現状です。
こうした影響を受け、半導体デバイスの製造装置も多様化・複雑化してきました。半導体デバイス製造装置メーカーにはその対応が求められており、同時に光学部品の高精度化や高品質化が急務となりつつあります。
飯山特殊硝子は創業以来蓄積されたノウハウを通し、先端企業を支える半導体デバイス製造向け精密ガラス製品をご提供いたします。
STRONG POINT
飯山特殊硝子の強み
半導体デバイス製造装置向けの精密ガラス製品は、光を使った検査や照明装置で使用する石英部品等、さまざまな所で使われております。
一方ナノレベルの微細な回路を描く半導体露光装置の光学部品には、光の損失を防ぐために、ガラス表面に高精度な平面精度が要求されます。
飯山特殊硝子の強みは、こうしたニーズに対応できる精密硝子加工技術です。特殊な形状の石英ガラスを使用した治工具等の開発でも、試作開発からお客様のご要望にお応えいたします。
TECHNOLOGY
& KNOW-HOW
半導体デバイス製造に関わるお客様の
課題を解決する技術とノウハウ
飯山特殊硝子では、以下の技術・ノウハウを通して
半導体製造の課題を解決します。
研磨技術
高精度な平行平面の研磨や難硝材の研磨も、飯山特殊硝子の研磨技術でお客様のニーズにお応えします。ガラスの特性を熟知した技術者が硝材の特性に合わせた条件で研磨をすることで、λ/20以下の精度も実現可能です。
高精度を実現するため、研磨から洗浄・検査までの一連の工程間においては、製品の移動時も含め常にクリーンな環境下で作業しております。なお平面度や面粗度については、Zygo社製の干渉計により測定・保証いたします。
精密加工
熟練技術者による手作業での加工技術（アナログ）と、NC加工機を用いたプログラム制御の加工設備（デジタル）の融合により、さまざまな条件下でも高い精度での加工が可能です。
熟練技術者の経験（スキル）の継承と最新加工設備の導入を精密加工の軸として、お客様の課題を解決できる生産体制を維持しております。
測定技術
精密硝子加工の精度を左右するのは加工技術と加工設備です。しかしそれだけでは、要求された精度に仕上がっているかどうかの保証はできません。飯山特殊硝子では「加工技術」＝「測定技術」の考え方に基づき、各種測定機を取り揃え、測定結果（データ）を通して加工技術を保証しております。
材料
半導体デバイス製造関連の装置には欠かせない石英ガラスをはじめ、さまざまな硝材を取扱い出来る事も飯山特殊硝子の強みです。
私たちはお客様のご要望に素早く対応するため、豊富な種類の硝材を保有しております。また特殊な硝材や入手困難な硝材でも、調達ネットワークを通じてお客様のお悩み解消に努め、代替品のご提案にも対応致します。
ENTRUSTED
MEASUREMENT
受託測定
飯山特殊硝子では、充実した設備環境と熟練の検査員による
測定を実施しています。ガラス製品だけでなく金属や
樹脂なども含め、多様な製品・部品の測定を承っています。
自社一貫対応により、測定機関に比べてリーズナブルな
価格にて対応が可能です。形状測定のみならず、
不具合分析やご相談なども受け付けておりますので、
お気軽にお問い合わせください。
測定対象物
ガラス、金属、樹脂、セラミックスなど材質を問わず高精度な測定が可能です。
Scroll
| 測定機器 | 特徴・仕様 | 測定概要 |
|---|---|---|
| 三次元測定機 | 測定範囲：X軸600mm、Y軸500mm、Z軸300mm 外形・穴係寸法や平面度・真円度・直角度等の幾何公差の軽痩躯が可能 |
三次元の寸法・形状を測定 |
| 非接触表面粗さ測定装置 | 0.1nmの高分解能による高精度三次元計測が可能 測定範囲：0.11mm×0.14mm |
表面粗さ・微細形状の高精度評価 |
| レーザー干渉計 | 6インチ（Φ150）にてλ/20を保証 | 表面形状誤差を高精度評価 |
| デジタルマイクロスコープ | 20倍～2500倍まで拡大した観察が可能で、観察した画像はデータ保存が可能 | 試料表面の顕微観察・解析 |
| 紫外可視近赤外分光光度計 | 測定モード：透過率（%T） 測定可能波長範囲：240～1,800nm |
分光高度計固体材料の透過率測定 |
REQUEST FLOW
依頼の流れについて
お問合せ
ご依頼の内容をお伺いします。場合によってはこのタイミングで図面や仕様をいただくこともあります。
見積
具体的な用途や、希望される製品の仕様などをヒアリングします。その後、お見積りをご提案します。
受注
お見積り内容に同意いただいたうえで正式な受注契約を結びます。その後、必要に応じて材料の手配等を行います。
製造・加工・検査
必要な材料が揃ったら、精密加工や研磨、測定などの行程を経て製品を仕上げます。
品質保証・出荷
製品を検査し、検査表を付けて出荷します。
お問合せ※
お問い合わせフォームまたはお電話にてご相談ください。研究段階での施策検討からご相談いただけますので、どうぞお気軽にお問い合わせください。
見積
図面や仕様をご共有いただき、それを元に具体的な用途や、希望される製品の仕様などを検討・ヒアリングします。その後、お見積りをご提案します。
受注
お見積り内容に同意いただいたうえで正式な受注契約を結びます。その後、必要に応じて材料の手配等を行います。
製造・加工・検査
必要な材料が揃ったら、精密加工や研磨、測定などの行程を経て製品を仕上げます。
品質保証・出荷
製品を検査し、検査表を付けて出荷します。
※場合によってはお問合せのタイミングで図面や仕様をいただくこともあります。
FAQ
よくある質問
-
特殊な形状のガラス加工も可能ですか？
はい、可能です。
図面や詳細な仕様書をいただいた上で、加工上問題ないかを確認しコストメリットのある仕様のご提案も可能です。 -
ガラスの主な加工素材について教えてください。
弊社は合成石英が60％程度を占めております。
合成石英は信越石英製P20材やオハラクオーツ製SK1300等、各種取り揃えております。
光学硝子はS-BSL7(BK7)をはじめオハラ製を主に取り扱っており、常時160種ほどストックしております。
その他色ガラスフィルター（カラーフィルター、NDフィルター等）や、テンパックス、青板、白板等ガラス全般を取り扱っております。もちろんその他のメーカー様も取り扱いしておりますので、お気軽にお問合わせください。 -
材料を支給しても加工していただけますか？
もちろん対応可能です。御支給材の材質、形状、数量などの情報をお知らせ下さい。
また、完成品の追加工や、市販品の追加工にも対応いたします。お持ちのガラスのカスタマイズもお任せください。 -
ガラスの種類について詳しくないのですが、用途に合ったガラスを提案してもらえますか？
はい、提案可能です。
ご使用用途やご使用環境（温度、使用波長帯）等を伺えれば、貴社のご要望に沿ったご提案をいたします。 -
少ロットのガラス加工でも依頼できますか？
はい、少ロット（最少1個）からのご依頼も承っております。
弊社は試作開発のお客様が大半なので少量多品種を得意としております。 -
見積もりから納品までどのくらいの期間がかかりますか？
ガラスの種類、加工内容、数量、当社の生産状況によって異なります。
通常の研磨品であれば、材料調達を含め受注後3～3.5週間程になります。まずはお気軽にご相談ください。 -
納品方法はどうなりますか？
基本的には、提携の運送業者にて納品いたします。
ガラスのサイズや数量、納品場所によって自社便など最適な方法をご提案いたします。 -
直接訪問して相談することは可能ですか？
はい、事前にご予約いただければ可能です。お客様のご要望を直接お伺いし、より具体的なご提案をさせていただきます。
また、工場見学も可能ですので、是非一度弊社にお越し下さい。
-
研究試料の加工や評価を依頼できますか？
はい、可能です。
光学ガラスの高精度研磨・薄板化・レンズカット・TGV/TSV加工など、研究用の試作や評価サンプルにも対応いたします。仕様や数量に応じて、最適な方法をご提案いたします。 -
少量サンプルでも対応していただけますか？
はい。大学・研究機関の方からのご依頼は少量・多品種が多いため、1点からのご依頼も可能です。
ご要望に合わせて柔軟に対応いたします。 -
見積もりはお願いできますか？
はい。仕様・数量・納期などの条件をお伺いした上で、正式なお見積もりをご提示いたします。
研究費・科研費での発注実績もございます。 -
納期はどれくらいかかりますか？
加工内容や数量によって異なりますが、試作レベルであれば2〜4週間程度が目安です。
お急ぎの案件についても可能な範囲でご相談に応じます。 -
研究内容やデータは守られますか？
はい。必要に応じて秘密保持契約（NDA）を締結し、研究情報・図面・成果物の取り扱いには
十分配慮いたしますのでご安心ください。 -
共同研究の成果を学会や論文で発表してもよいですか？
可能です。事前に内容を確認させていただいた上で、知的財産や守秘義務を遵守しながら発表いただけます。
共同発表や共著の形も対応可能です。 -
特殊な形状のガラス加工も可能ですか？
はい、可能です。
図面や詳細な仕様書をいただいた上で、加工上問題ないかを確認しコストメリットのある仕様のご提案も可能です。 -
ガラスの主な加工素材について教えてください。
弊社は合成石英が60％程度を占めております。
合成石英は信越石英製P20材やオハラクオーツ製SK1300等、各種取り揃えております。
光学硝子はS-BSL7(BK7)をはじめオハラ製を主に取り扱っており、常時160種ほどストックしております。
その他色ガラスフィルター（カラーフィルター、NDフィルター等）や、テンパックス、青板、白板等ガラス全般を取り扱っております。もちろんその他のメーカー様も取り扱いしておりますので、お気軽にお問合わせください。 -
ガラスの種類について詳しくないのですが、用途に合ったガラスを提案してもらえますか？
はい、提案可能です。
ご使用用途やご使用環境（温度、使用波長帯）等を伺えれば、貴社のご要望に沿ったご提案をいたします。 -
納品方法はどうなりますか？
基本的には、提携の運送業者にて納品いたします。
ガラスのサイズや数量、納品場所によって自社便など最適な方法をご提案いたします。